معدات تنقية الغاز الإلكترونية

تعتبر شركة Hanturbo Technology (Zhejiang) Co., Ltd. واحدة من أبرز الشركات المصنعة والموردة لمعدات تنقية الغاز الإلكترونية في الصين. نحن متخصصون في تقديم خدمة مخصصة عالية الجودة وبأسعار تنافسية. إذا كنت ستشتري معدات تنقية الغاز الإلكترونية بسعر مخفض، فنحن نرحب بك للحصول على عرض أسعار من مصنعنا.

تعد معدات تنقية الغاز الإلكترونية-عالية النقاء من المعدات الداعمة الأساسية لمجالات التصنيع المتطورة-مثل أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية ولوحات العرض. لقد تم تصميمه خصيصًا لإزالة الشوائب النادرة من الغازات الإلكترونية-. تعتمد هذه المعدات تكنولوجيا التنقية العميقة المتقدمة، والتي يمكنها رفع نقاء الغاز إلى أكثر من 99.9999%، مما يضمن عمليات إنتاج مستقرة وموثوقة وجودة منتج فائقة.

باعتبارها حلقة وصل رئيسية في سلسلة صناعة أشباه الموصلات، فإن أداء معدات تنقية الغاز الإلكترونية عالية النقاء-يحدد بشكل مباشر إنتاجية وموثوقية تصنيع الرقائق. تم تطوير هذا الجهاز خصيصًا للتنقية العميقة للغازات الخاصة من الدرجة الإلكترونية - (مثل أكسيد النيتروز، وثلاثي كلوريد البورون، وثلاثي ميثيل سيلان، والبروبين، وثماني فلورو سيكلوبوتان، وسداسي فلورو إيثان، وثاني أكسيد الكربون، وأول أكسيد الكربون، وبروميد الهيدروجين، وما إلى ذلك). يمكنه إزالة الرطوبة والأكسجين والجسيمات والأيونات المعدنية والشوائب الضارة الأخرى من الغاز بشكل فعال، مما يزيد من نقاء الغاز إلى مستويات نقاء عالية جدًا- (أكبر من أو تساوي 99.9999%)، مما يلبي المتطلبات الصارمة للعمليات المتقدمة مثل 7 نانومتر وأقل لجودة الغاز.

كفاءة تنقية فائقة-عالية:نقاء الغاز المنقى يمكن أن يصل إلى 99.9999% (مستوى 6N)، ومحتوى الشوائب أقل من معيار الصناعة.

التحكم الذكي:اعتماد نظام التحكم الآلي الكامل PLC، ودعم المراقبة عن بعد، والتشخيص الذاتي للأخطاء، والإنذار التلقائي.

تصميم وحدات:يمكن تهيئتها بمرونة وفقًا لمتطلبات العملاء، وهي ملائمة للصيانة والترقية.

توفير الطاقة-وحماية البيئة:عملية استهلاك منخفض للطاقة، بما يتماشى مع مفهوم التصنيع الأخضر.

عملية مستقرة-على المدى الطويل:عمر مادة التنقية الأساسية طويل، ويمكن أن تصل دورة التشغيل المستمرة إلى 2-3 سنوات أو أكثر.

اختيار المواد:جميع الأجزاء الملامسة للغاز مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ بدرجة 316L EP- أو مواد ذات درجة أعلى، مع مصقول الجدار الداخلي كهربائيًا - إلى Ra أقل من أو يساوي 0.25 ميكرومتر.

اختبار صارم:يخضع كل جهاز لاختبارات متعددة، بما في ذلك اكتشاف تسرب قياس طيف كتلة الهيليوم، وعدد الجسيمات، وتحليل الرطوبة/الأكسجين، قبل الشحن.

المعايير الدولية:متوافق مع SEMI، GB/T، ISO، وغيرها من المواصفات القياسية المحلية والدولية.

إدارة التتبع:تم إنشاء نظام كامل لتتبع الجودة، مع إمكانية تتبع المكونات الهامة مرة أخرى إلى مجموعة المواد الخام.

الوسم : معدات تنقية الغاز الإلكترونية، الصين مصنعي معدات تنقية الغاز الإلكترونية، الموردين، المصنع, نظام تنقية الغاز الإلكتروني, معدات مصانع المواد الكيميائية الفلورية, وحدة تنقية بروميد الهيدروجين, محطة تنقية بروميد الهيدروجين الصناعية, معدات غاز الضحك, معدات الغاز الخاصة النادرة