تواجه الصين فجوة تكنولوجية حرجة في الغازات المتخصصة لتطبيقات التكامل واسع النطاق جدًا (VLSI) والتكامل واسع النطاق للغاية (ULSI)، حيث تتجاوز الغازات درجة نقاء 6N (99.9999%) وتعتمد كليًا على الواردات.
لتلبية الطلب المتزايد على الغازات الإلكترونية المتخصصة عبر تصنيع أشباه الموصلات، وإنتاج الإلكترونيات، والصناعات الكهروضوئية، أنشأت شركتنا شراكة جامعية صناعية-استراتيجية مع جامعة Zhejiang في السنوات الأخيرة. يركز هذا التعاون على تطوير الغازات الإلكترونية من الدرجة 6N-، وسد النقص التكنولوجي المحلي وحل هذا التحدي الحاسم.
في يونيو 2025، أنشأت شركتنا فريق ابتكار المعدات والغازات المتخصصة بجامعة Zhejiang، وهو فريق مخصص لتزويد موردي أشباه الموصلات بأنظمة إنتاج متقدمة لمنتجات الغاز الإلكترونية.
من خلال الأبحاث التعاونية والاختراقات التكنولوجية المشتركة، نجحنا في تطوير أنظمة الإنتاج والتنقية لمجموعة شاملة من الغازات المتخصصة عالية النقاء، بما في ذلك: أكسيد النيتروز (N₂O)، وثلاثي كلوريد البورون (BCl₃)، وثلاثي ميثيل سيلان (3MS)، والبروبيلين (C₃H₆)، وثماني فلورو سيكلوبوتان (C₄F₈)، وسداسي فلورو إيثان. (C₂F₆)، بروميد الهيدروجين (HBr) إلخ.
بالإضافة إلى ذلك، حققنا إنجازات كبيرة في تكنولوجيا وحدة فصل الهواء (ASU)، مما أدى إلى تحقيق معدلات عالية لاسترداد الأرجون وتشغيل منخفض-في الطاقة، مما أدى إلى تحسين كفاءة النظام والأداء الاقتصادي بشكل كبير.