تم تشغيل معدات إنتاج وتنقية أكسيد النيتروز (N₂O) بنجاح في 10 ديسمبر 2023. المالك، Suzhou Innovator Materials Co., Ltd.، هي شركة متخصصة في البحث والتطوير والتصنيع والمبيعات للغازات الإلكترونية المتخصصة، بما في ذلك غازات أشباه الموصلات والبحث والتطوير للمواد ومشاريع التوطين. يتم تصدير منتجاتها بشكل رئيسي إلى أوروبا وأمريكا وماليزيا وتايلاند ومناطق أخرى.
تغطي المرحلة الأولى من المشروع مساحة 28680 مترًا مربعًا، ويبلغ إنتاجها السنوي 6000 طن من أكسيد النيتروز من الدرجة الإلكترونية و80 طنًا من الغاز المختلط من الدرجة الإلكترونية. ويمتلك المشروع حاليًا أكبر قدرة إنتاجية في الصين، مما يحقق التوطين الكامل، وبالتالي تسريع التطور السريع لصناعة الدوائر المتكاملة الوطنية.
سيشغل مشروع توسعة المرحلة الثانية، المصمم كمشروع رئيسي على مستوى المقاطعة، حوالي 73370 مترًا مربعًا وسيبني مركزًا للبحث والتطوير والاختبار. ستشارك في المقام الأول في البحث والتطوير واختبار الغازات المختلطة وغازات الفلوروكربون والغازات الأولية و37 نوعًا من الغازات الإلكترونية المتخصصة عالية النقاء -التي تزيد عن درجة نقاء 5N.
